K-mate射頻電源及匹配器針對不同負(fù)載選擇相對應(yīng)的阻抗匹配器

首先在使用K-mate產(chǎn)品時，要明確應(yīng)用設(shè)備的負(fù)載是容抗負(fù)載還是感抗負(fù)載，根據(jù)不同類型的負(fù)載選擇相適應(yīng)的射頻匹配器。（在采購或調(diào)試時告知我司銷售人員或技術(shù)人員）。容抗負(fù)載多指的是真空腔體內(nèi)電極放電，如磁控濺射，等離子清洗，RIE反應(yīng)刻蝕，平板PECVD.感抗負(fù)載多指是通過線圈耦合等離子體放電，如管式PECVD，ICP刻蝕，射頻感應(yīng)加熱等。在選用我司500W功率的射頻電源時，容抗負(fù)載建議選擇VENA-500（0010+00077），感抗負(fù)載時應(yīng)選擇VENA-500(0010+00077)并告知負(fù)載線圈的規(guī)格如銅管的大小，線圈的內(nèi)徑，圈數(shù)，及間距。以便我們在出廠時做好調(diào)試。在選用1000W匹配器時也需如此。